酸化物薄膜トランジスタ作製設備（伊都キャンパス）

ドライプロセス：

スパッタ装置、ドライエッチング装置、CVD装置、アニーリング装置

ウェットプロセス：

ウェットエッチング装置、リムーバー装置、ガラス洗浄装置、マスク洗浄装置

リソグラフィープロセス：

露光装置、塗布装置、現像装置、ベーク装置

プリントプロセス：

塗布装置、スクリーン印刷装置、インクジェット装置、封止装置

第１クリーンルーム（GIC）

クリーンルーム全景

成膜装置：

ECRスパッタリング装置
原子層堆積 (ALD) 装置
超高真空スパッタリング装置
小型マグネトロンスパッタリング装置
三源マグネトロンスパッタリング装置
Al蒸着装置
電子ビーム蒸着装置

熱処理装置装置：

急速加熱装置 (RTA)・・・

リソグラフィープロセス：

スピナー、アライナー、オーブン、顕微鏡、・・・

第２クリーンルーム（GIC）

成膜装置：

DCスパッタ装置(ロードロック式)
熱蒸着装置(特注)
平行平板型RIE装置 (RIE-10NR)

リソグラフィープロセス：

スピナー、アライナー、オーブン、顕微鏡、・・・

電子デバイス計測室

電子工作室

ソフトウェア

    • JDAT : SX-Meister, Ismo, Asca
    • CADENCE : OrCAD, Virtuoso, Allegro
    • SILVACO : TCAD, Analog/Mixed Signal/RF, Custom IC CAD
    • INFOLYTICA : ElecNet, MagNet
    • MATHWORKS : MATLAB, Symulinks