研究成果

令和3(2021)年

受賞

令和二年度 総合理工学府量子プロセス理工学専攻 専攻賞 清水 昇

論文・国際学会proceedings

学会発表

清水 昇、山本 圭介、王 冬、中島 寛
エッチバック法を用いたGe-on-Insulator作製に向けたウェットエッチング法の検討
2021年第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021.3.18

中島 寛(invited)、Wei-Chen Wen、山本 圭介、王 冬
DLTS法によるGeゲートスタック中のトラップ解析
第26回 電子デバイス界面テクノロジー研究会 (online), 2021.1.23

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