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小型マグネトロンスパッタリング装置 / Magnetron Sputtering
(株)アルバック九州 SPQ-303T / ULVAC Kyshu SPQ-303T
カソード: 2インチRFマグネトロン 3基
試料サイズ: 最大2インチ
試料温度: 最大600℃, 到達真空度: 1×10
-7
Torr (室温)
使用ガス: Ar, N
2
, O
2
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