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酸化/アニール炉 / Furnaces (for oxidation and annealing)
光洋サーモシステム / Koyo thermo systems
最高温度(max. temp.): 1000℃
試料サイズ(sample size): 2 inch
処理雰囲気(annealing atomosphere): N
2
, O
2
, forming gas(Ar/H
2
)
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