NanoFactory 研究プラットフォーム

原田 裕一 教授

ナノファクトリーは、KOINEプロジェクト部門での最初の研究プラットフォームであり、ナノレベルでの材料加工技術の確立とその応用を進めると共に、それらの過程で生じる物質のナノの状態での振舞いや現象について解明することを目指します。 また、KOINEプロジェクト部門では、様々な研究領域において革新的なアイデアを創出し、産業(社会)変革の実現可能性の検討を進めます。

KOINE

プロジェクト名

ナノレベル構造作製手法の確立

プロジェクトリーダー

原田 裕一 教授

筑紫キャンパス
グローバルイノベーションセンター 1階
TEL:092-583-7873
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原子層堆積(ALD)法を活用した三次元ナノ表面被膜と
その応用

原子層堆積(Atomic Layer Deposition)法は、自己成長停止機構に基づき材料原子を一層ずつデジタル成長する方法で、これまでの他の成長法よりも低い温度で、かつ緻密な膜を表面の形状に関わらず三次元構造の全面に成長出来ます。このため、従来の半導体のみならず、多様な材料への適用が可能であり、プラスチックや生物といったこれまで考えもしなかった分野にも応用出来る潜在力があります。 これまで、ALD法は主として絶縁体の積層に使われてきましたが、アルミニウム等の金属材料や更に誘電体や磁性体も可能であり、多様な応用が期待されます。 ナノファクトリーでは、様々な材料や構造での表面被膜に関するALD法のノウハウや被膜レシピをデータベース化しており、分野を超えて多様な応用が可能です。また、参加する企業や研究機関には、研究のみならず人材交流や人材育成を進めるためのネットワークをも提供し、会合では基礎的な研究から幅広い応用研究まで広い深く掘り下げた議論や様々なコンサルティングも提供可能です。 これまでの具体的な応用例は、こちらを参照ください。

KOINEの普及とその応用

KOINEは、Kyudai global Open Innovation Network Engineの略語ですが、古代ギリシャ語由来の英語でもあります。KOINEの意味は、「共通言語」です。 KOINEでは、分野や所属を超えたさまざまな方々が、社会(産業)課題について議論する中から”共通認識”を見出して、そこから新たなアイデアを産み出し、社会(産業)イノベーションを起こすことを目指します。 社会(産業)課題を解決したい、あるいは、良いアイデアを実現したいとお考えの方は、是非ご連絡ください。皆さんの知恵や経験を活用して、ご一緒に検討を進めましょう。

エッチングへのAl2O3膜の堆積/Si基板上への超伝導Al膜の堆積/通常のALD法によるグラフェン上へのAl2O3膜の堆積/二段階ALD法によるグラフェン上へのAl2O3膜の堆積
KOINE のビジョン
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