土肥研究室について

 グローバルイノベーションセンター KOINEプロジェクト部門 オプト・エレクトロニクス機能材料領域(本研究室)では、将来の低炭素化社会・持続可能社会の実現に向けた半導体デバイス、 いわゆるグリーンデバイスの生産においてキーとなる表面平坦化のための超精密加工プロセスの研究を行っております。
 将来の究極デバイスと言われ注目されている、ダイヤモンド半導体を始めとし、SiCやGaN、サファイアなど、 超難加工材料の効率的な超精密加工に関する研究および、将来型デバイスプロセスのための、 マルチ産学連携による超精密加工システムの研究開発を、メンバー一丸となって進めております。

最新情報

2017.10.30
研究業績ページに、情報を追加いたしました。
2016.11.06
アルバムページに、CJUMP 2016の写真を掲載いたしました。
2016.09.14
アルバムページに、International Conference on Diamond and Carbon Materials の写真を掲載いたしました。
2016.08.17
アルバムページに、MIRAI 2016の写真を掲載いたしました。
2016.03.23
研究業績ページに、ニュースレターNo.5を掲載いたしました。

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